粒子计数器通常分为激光颗粒计数器或凝聚核粒子计数器。He2Ne激光粒子计数器，可分析气体中011μm粒径的颗粒杂质；Ar2Kr激光粒子计数器可分析0105μm粒径颗粒杂质，目前已有可检测超高纯气中01005μm的粒子计数器。
用粒子计数器测定空气中粒子的统计浓度。由于在无尘车间中采用的是高灵敏度粒子计数器，故不得将高浓度检验用粒子送入净化车间进风口。气溶胶发生器由压缩机，气流调节阀，HEPA过滤器，小玻管和拉斯金喷雾器组成，将DF.HS或其它物质喷成雾状作为检验用气溶胶。发生器的中心部件是拉斯金喷雾器，在其出口处的气流含有检验用气溶胶粒子，粒子的粒径具有多分散性分布，DEHS气溶胶的平均粒径约为0.2微米，气溶胶的“寿命”起着重要的作用：粒径为0.3微米的水滴，其寿命小于1秒，而DEHS -约4小时。
在与发生器产生的检验用气溶胶混合前，空气的污染浓度应比发生器送出粒子浓度小I%。并在检验ULPA过滤器时建议采用先经HEPA过滤器处理的空气，建议空气灼湿度应保持在30%-70%的范围内。
稀释器具有两条通路，在l条通路内装有HEPA过滤器，而另一条通路则是细的（毛细管式）的旁通通路，在旁通通路内没有过滤器。稀释系数取决于两股气流之比：通过HFPA过滤器（洁净空气）和通过旁通遒道，在旁通通道中的是定量的，含有检验用气溶胶的空气。
粒子计数器是测试空气尘埃粒子颗粒的粒径及其分布的专用仪器，由显微镜发展而来，经历了显微镜、沉降管、沉降仪、离心沉降仪、颗粒计数器、激光空气粒子计数器、凝结核粒子计数器、多通道多功能粒子计数器等过程，目前 广泛应用于为各省市药检所、血液中心、防疫站、疾控中心、质量监督所等权威机构、电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工、塑胶、喷漆、医院、环保、检验所等生产企业和科研部门。
